重磅消息！美国研发出新型BAT激光器：效率是现有EUV光刻机10倍，有望生产出更强大的芯片【附激光器行业现状分析】

（图片来源：摄图网）

芯片作为现代电子产品的“大脑”，其制造工艺的每一次突破都牵动着全球科技产业的神经。近日，美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL)传出重磅消息，成功发出了一种名称为大孔径铥 (BAT) 激光器，旨在为极紫外 (EUV) 光刻技术的下一步发展奠定基础，有望在多年后取代光刻系统中的 CO2 激光器。

光刻技术是芯片制造流程中核心环节，直接决定了芯片上电路图案的精细程度，进而影响着芯片的整体性能。目前，全球芯片制造行业的领头羊ASML公司所采用的EUV光刻机，其核心部件二氧化碳(CO2)激光器，已是行业内的中流砥柱。然而，LLNL研发的BAT激光器在性能上实现了质的飞跃，其效率是现有CO2激光器的10倍之多。更高的效率意味着在芯片制造过程中，相同的能量输入能够转化为更多有效的光刻作业，极大缩短芯片制造周期，这对于满足日益增长的电子产品市场需求，尤其是 5G 通信、人工智能、高性能计算等领域对芯片海量且快速交付的要求，有着不可估量的意义。

从能耗角度审视，BAT 激光器更是展现出独特优势。芯片制造产业作为高能耗大户，一直面临着降低能耗的巨大压力。传统的 CO2 激光器在长时间、高强度的光刻工作中消耗大量电能，而BAT激光器凭借其卓越设计与材料特性，有望在实现高效光刻的同时大幅削减耗电量。

BAT激光器若能成功取代CO2激光器融入光刻系统，凭借其自身特性，有望突破现有光刻分辨率瓶颈，助力芯片制造商雕琢出更为精细、复杂的电路结构，从而实现芯片性能质的飞跃。

LLNL的研究人员更是乐观地预测，这一突破性进展可能为新一代“超越EUV”的光刻系统铺平道路，从而生产出更小、更强大、制造速度更快、同时耗电量更少的芯片。

我国激光器行业技术发展历史悠久

我国激光产业虽具规模，但与发达国家在光源和高端应用上仍有差距。近年来，我国激光器行业迅猛发展，自主研发产品参与国际竞争，挑战国外企业垄断。我国激光加工凭借精密、柔性、低热效应特点，成为微加工领域的关键技术，其在新能源、信息技术等领域应用广泛，涵盖切割、焊接等工艺。随着应用场景增多，激光技术正不断创新，向更短波长、更高功率等方向发展，以满足精细加工与各类应用的深度融合需求。

国家积极推动激光器产业发展

激光器的用途十分广泛，目前可应用于材料加工、通讯、传感、研发、军事、医疗等领域，为了促进产业活力，加快产业发展，国家各部门出台了多项促进光纤激光器产业发展的扶持性政策。整体来看，国家对激光器制造的支持方向往高功率激光器制造、提升激光器国产化率，减轻进口依赖发展。

激光器行业投融资形势向好

根据IT桔子数据整理显示，2023年至2024年1-5月，中国激光器行业中小型企业融资事件达到10件，且代表性企业最新投资活跃，表明市场对激光产业的关注度在提升，投资者对该领域的信心增强。这将有助于吸引更多资本进入，推动激光产业的进一步发展。综上所述，近两年中国激光产业投融资事件增多，代表性企业的投资活动活跃，这反映出激光产业正迎来快速发展的黄金时期。未来，随着技术创新加速、产业链整合、应用领域拓展以及政策支持加强，中国激光产业有望实现更加广阔的发展前景。

前瞻产业研究院对激光器行业的前景十分看好。认为激光器技术的发展趋势将表现为大功率激光器技术的持续突破，高精度激光加工技术的深入发展，环保与节能成为重要考量以及智能化和自动化水平的不断提升。这些趋势将推动我国激光器产业的持续发展和创新。

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更多本行业研究分析详见前瞻产业研究院《中国激光器行业市场前瞻与投资战略规划分析报告》

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