成本超过3亿美元！阿斯麦第一台2纳米光刻机给了美国巨头英特尔【附光刻机行业市场竞争分析】

（图片来源：摄图网）

近日，荷兰阿斯麦公司宣布，他们将优先向美国英特尔公司交付其新型高数值孔径的极紫外光刻机。这台新型光刻机每台的成本超过3亿美元，可以帮助计算机芯片制造商生产更小、更快的半导体。

据报道，阿斯麦公司在社交平台X上发布了光刻机的照片，并表示：“耗时十年的开创性科学和系统工程值得鞠一躬！我们很高兴也很自豪能将我们的第一台高数值孔径的极紫外光刻机交付给英特尔。”

另据界面新闻报道，阿斯麦公司计划在2024年生产10台2nm设备，而英特尔已经采购了其中的6台。未来几年，阿斯麦公司计划将这类芯片制造设备的产能提高到每年20台。

官方资料显示，英特尔Gaudi3将采用5nm工艺，带宽是前代Gaudi2(7nm工艺)的1.5倍，BF16功率是其4倍，网络算力是其2倍。Gaudi3预计将配备最高128GB的HBM3e内存，AI学习和训练性能大幅提升。

光刻机是一种用于半导体制造的关键设备。它利用光学技术将图案投射到硅片或其他半导体材料上，以便在芯片制造过程中进行微细图案的转移。这些微细图案构成了半导体芯片上的电路和其他元件。光刻机在集成电路制造中起着至关重要的作用，它能够实现极其精细的图案转移，从而制造出微小且高度集成的电子元件。这种设备通常需要极高的精度和稳定性，以确保芯片制造的质量和可靠性。

随着5G、人工智能、自动驾驶等新兴技术的快速发展，对芯片制造工艺的要求越来越高，这也推动了光刻机行业的技术创新和产品更新换代。

——ASML为全球光刻机“巨头”

全球光刻机行业的主要集中地包括美国、日本、荷兰和中国台湾。其中，荷兰的ASML是全球最大的光刻机制造商，占据着市场的主导地位。

ASML向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备-光刻机。上世纪80年代，ASML只是飞利浦旗下的一家小公司，但如今已经超越了美国和日本，垄断了全球7nm及以下工艺的EUV光刻机技术。

全球光刻机市场的90%以上份额被ASML、尼康和佳能这三大企业占据。2020年，ASML的光刻机销量占据了市场的63%份额，销售额更是达到了91%，远超尼康和佳能。

——我国光刻机几乎依赖进口

除了成本高昂以外，中国高端光刻机几乎完全依赖进口。目前国内仅有一家高端光刻机生产企业，即上海微装，成功研发出极紫外线光刻机。在全球市场中，荷兰的ASML处于领先地位，尤其在高端光刻机市场上更是垄断性地位。自2018年以来，该公司的EUV光刻机价格一直在不断上涨，截至2021年7月4日，约为1.54亿欧元/台。

——我国芯片光刻机发展历程

截至2020年底，中国的领先光刻机企业上海微电子成功制造出了28纳米制程的光刻机，虽然尚未量产，但已经成为中国光刻机发展历史上的里程碑。这表明中国的光刻机研发水平不断进步。综合来看，中国应该增加研发投入，争取早日突破14纳米芯片的完全自主量产，为中国汽车芯片提供良好的供给基础，确保中国汽车行业的平稳发展。

最近，在进博会期间，荷兰光刻机巨头ASML的全球高级副总裁兼中国区总裁沈波接受了专访。他表示，今年ASML在中国的业务增长迅速，预计全年中国市场将占据ASML全球营收的超过20%，对明年在中国的业务也充满乐观。

光刻机的制造难度很大，因为涉及到多个领域和众多企业的合作。而光刻机的零件成千上万，也就是说，光刻机已经形成了一条完整的产业链。此前，清华大学机电工程学院的朱玉院士领导的团队成功研制出两台光刻机，使中国实现了自主制造。此外，激光头和镜头制造商也开始制造更多的零部件，各个行业的企业都在不断提升国产光刻机的产业链。

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