关键阶段!台积电美国亚利桑那工厂已导入首台EUV光刻机【附光刻机市场分析】

温杨洋

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图源:摄图网

8月21日消息,台积电将在美国亚利桑那州投资设立2座先进晶圆厂,第1座工厂目前已完成建设,正进行数千台先进及精密设备安装作业,预计2025年量产4纳米制程;第2座晶圆厂建设也在顺利进行中。据台媒报道,台积电亚利桑那州工厂已经导入当地第一台极紫外光(EUV)设备。

EUV光刻机,又称极紫外线光刻机,是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响,其中,小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。

光刻机现状及运输情况

光刻机是技术壁垒极高的产品,当前,全球仅有荷兰的ASML公司有能力生产EUV光刻机。根据该公司的EUV光刻机售价显示,该公司最新的光刻机型号为NXE:3600D,暂无定价,但上一代EUV光刻机的售价已经超过150亿美元。从运输成本上来说,EUV光刻机体积十分庞大,一台顶级的EUV光刻机重大180吨,需要40个集装箱来运输,仅安装调试的时间就需要一年左右。

图表3:EUV光刻机结构

芯片研发资金需求极大,成本占比最高

芯片设计的研发投入需要巨大的资金投入,根据微电子研究中心IMEC披露的数据,设计一颗28纳米工艺芯片需要约5000万美元,14nm工艺需要1亿美元,10nm工艺需要1.8亿美元,7nm工艺需要近3亿美元,5nm工艺大约需要5.5亿美元,3nm为6亿美元,2nm将近8亿美元。

图表4:2-28nm制程芯片的研发成本(单位:nm,亿美元)

EUV光刻机主要销往亚太地区、台积电成最大买家

从EUV光刻机的购买商情况来看,2018-2020年,亚太地区销量最高,其中台积电购买的EUV光刻机最多,合计达41台,其次是三星、英特尔。

图表9:2018-2020年全球EUV光刻机销量分布(按购买厂商)(单位:台)

总的来看,台积电美国亚利桑那工厂的建设已经进入关键阶段。随着光刻机的引入,该工厂的芯片产能将逐渐提速。台积电作为光刻机的最大买家,与ASML携手促进全球芯片科技的发展,双方实现互利共赢。

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